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X射線無損檢測技術(shù)助芯片發(fā)展一臂之力

發(fā)布時間：2019-05-27 09:00:05

最近，由于持續(xù)發(fā)酵的“華為”事件，大家對國內(nèi)芯片產(chǎn)業(yè)的關(guān)注達(dá)到前所未有的高度。那么，什么是芯片？芯片的制造過程到底有多復(fù)雜呢？

芯片，半導(dǎo)體元件產(chǎn)品的統(tǒng)稱，即集成電路（英語：integrated circuit，縮寫作 IC；或稱微電路（microcircuit）、微芯片（microchip）、晶片/芯片（chip）在電子學(xué)中是一種把電路（主要包括半導(dǎo)體設(shè)備，也包括被動組件等）小型化的方式，并時常制造在半導(dǎo)體晶圓表面上。

電子芯片應(yīng)用廣泛，我們?nèi)粘Ｉ钪锌吹降摹⒂眠^的手機(jī)、電腦、空調(diào)、平板等等電子設(shè)備想要運(yùn)行，都離不開這小小的“動力源”。

雖然芯片體積小，但由于上面需要無數(shù)的導(dǎo)線及成千上萬根晶體管排布，所以其制造難度大，技術(shù)需求高，目前中國芯片的自給自足率很低，所以能掌握先進(jìn)芯片技術(shù)的美國，才能如此強(qiáng)硬。

簡單來說半導(dǎo)體芯片的研發(fā)包括：硅晶圓-光刻-摻雜-封裝測試等環(huán)節(jié)，隨著電子芯片尺寸的不斷減小和內(nèi)部結(jié)構(gòu)復(fù)雜程度的不斷提高，對于芯片的檢驗難度也越來越大，想要獲得完整的具有高清晰度的芯片內(nèi)部結(jié)構(gòu)圖像更是難上加難。

當(dāng)前芯片檢驗的常用方法通常是將芯片層層剝開，再用電子顯微鏡對每一層表面進(jìn)行拍攝，這樣檢測方式對芯片具有極大破壞性，此時，X射線無損檢測技術(shù)也許可助一臂之力。

電子芯片X射線檢測設(shè)備主要是利用X射線照射芯片內(nèi)部，由于X射線的穿透力很強(qiáng)，能夠穿透芯片后成像，其內(nèi)部結(jié)構(gòu)斷裂情況可以一覽無余，使用X射線對芯片檢測的最主要特點(diǎn)就是對芯片本身沒有損傷，因此這種檢測方式也叫無損探傷。